型式一覧
クリーン・ファンフィルターユニット
| 型式 | 処理風量 （m3/min)※ |
集塵効率 | ||
|---|---|---|---|---|
| PAU-01FFU | 約0.8／0.9以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-03FFU | 約2.8／3.0以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-05FFU | 約4.8／5.0以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A11FFU | 約11以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A14FFU | 約14以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A17FFU | 約17以上 | 0.3µm粒子にて99.97％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A11FFU-ULPA | 約9以上 | 0.1µm粒子にて99.999％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A14FFU-ULPA | 約12以上 | 0.1µm粒子にて99.999％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
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| PAU-A17FFU-ULPA | 約14以上 | 0.1µm粒子にて99.999％以上 |
商品カタログ 取扱説明書 |
※無負荷時の平均値です
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