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商品ラインナップクリーン・ファンフィルタユニット

PAU Series

クリーン・ファンフィルタユニットの特長

PAU series TECHNOLOGY

クリーン・ファンフィルタユニット

HEPAフィルタでクリーンエアーを供給

HEPAフィルタ内蔵のファン・フィルタユニットにより、クリーン化されたエアーを供給します。

HEPAフィルタでクリーンエアーを供給

クリーン度を保つ充実の機能

新開発 熱線抵抗式風速センサ

換気回数の低下を予防

新開発の熱線抵抗式風速センサを搭載。フィルタの目詰りによる風速圧損を検知し、風速低下に伴う換気回数の低下を防ぐことが可能です。

新開発 熱線抵抗式風速センサ

目詰り診断機能

フィルタの目詰りが原因で発生する風速低下を予防

フィルタの目詰りなどによる風速低下時には自動的にアラームを点灯、外部への警報出力も可能です。任意の風速レベルに、しきい値を設定する可変トリマーも標準装備されています。

目詰り診断機能

風速可変コントロール機能(05FFU)

風量低下時に風量アップが可能

ファン・フィルタユニットに内蔵されている送風用ファンモータの風量をボリュームにより可変、調整できます。風量の微調整の場合や、圧損による風量低下時に風量アップさせることが可能です。

風速可変コントロール機能(05FFU)

抜群のフィルタメンテナンス性

ワンタッチ錠付きクイックトップメンテナンス方式(01FFU~05FFU)

工具レスで簡単交換

HEPAフィルタの交換が簡単にできるワンタッチ錠を採用。工具レスでHEPAフィルタの取り出し、交換が可能です。

ワンタッチ錠付きクイックトップメンテナンス方式

側面吸い込み(11FFU~17FFU)

天井とのクリアランスを最小限に

外気吸い込みをファン・フィルタユニットの側面より行うことで、天井とのクリアランスを最小限に抑えることが可能。クリーンブース設置場所の天井が低い場合や、クリーンブース本体の高さ・寸法が大きい場合に有効です。

側面吸い込み

ボトムメンテナンス方式(05FFU-DM、A11FFU~A17FFU)

高所でのメンテナンスを回避

HEPAフィルタの交換をブース内部より行うことが可能。高所でのメンテナンスを回避できます。

ボトムメンテナンス方式

クリーン環境を容易に構築可能

精密空調機との組み合わせで温度・湿度のコントロールも可能

精密空調機とファン・フィルタユニットとの組み合わせにより、クリーン環境を容易に構築可能。PAUユニットで作られた精密エアーをHEPAフィルタに通すことで、清浄度の高いクリーンエアーとなり、局所にクリーンエアーを供給することが可能になります。しかも対象空間の容積や要求されるクリーン度のレベルに応じて自由にクリーンユニットを選択できますので、「温湿度コントロール」プラス「最適なクリーン環境構築」が気軽に行えます。

クリーン環境を容易に構築可能

フィルタの種類

  中高性能フィルタ HEPAフィルタ ULPAフィルタ
使用クリーン度 クラス10~20万 クラス100~10,000 クラス1~10
使用例 一般事務所等 IC後工程・液晶工程等 IC前工程等
能力 粗じんフィルタより捕集能力は高い 0.3μmの粒子を99.97%
捕集能力をもっている
0.1μmの粒子を99.99%
捕集能力をもっている

ULPA仕様にも対応

超高性能フィルタ(ULPA)へのクラスアップも可能です。※納期についてはお問い合わせください。

HEPAフィルタ

クリーン度の規格

クラス 100 1,000 10,000 100,000
換気回数 250~400回 150回 75回 20回
粒子数 3,530/m3 35,300/m3 353,000/m3 3,530,000/m3
100/ft3 1,000/ft3 10,000/ft3 100,000/ft3
風速 0.2~0.4m/s 0.1~0.2m/s 0.05~0.07m/s 0.05~0.04m/s