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露光機、エッチング装置

露光機、エッチング装置

ステージの高精度な温調と、熱源であるランプへの安定した冷却水の供給が可能です。
これによりロット間のばらつきを最小限に抑え、品質向上を実現します。

商品:
チラー
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工 / その他工程
PCU

チラー

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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