1. HOME
  2. 導入・活用事例
  3. 露光装置

露光装置

露光装置

露光装置ではフォトマスクの膨張と収縮を抑えるため、冷風を供給し、温度を安定させる必要があります。精密空調機PAUシリーズなら、温度・湿度・クリーン度が求められるエアーを実現します。

商品:
精密空調機
業界:
電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工
PAU

精密空調機

精密空調機とは、研究施設、クリーンルーム、精密機器を扱う工場などで使用される、高度な温度・湿度管理が可能な空調機のことです。精密空調機は一般的なオフィスや家庭用のエアコン・空調機と比べて、温度や湿度の精度が高く、局所的に必要な箇所を空調できるのが特徴です。

導入・活用事例TOP

お問い合わせ

商品に関するご質問や、お見積のご依頼など
お気軽にお問い合わせください。

TEL0120-945-354

一部のIP電話からはご利用いただけません。

support@apiste.co.jp