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ランプアニール装置

ランプアニール装置

最適温度でのアニール処理によるタクトタイムの向上のため、ステージの冷却が必要です。

商品:
チラー
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
熱処理
PCU

チラー

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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