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真空蒸着装置の冷却

真空蒸着装置の冷却

真空蒸着装置をご利用のお客様で精密チラー PCU-Rシリーズをご採用いただきました。膜厚を高精度に制御し、均一に成膜する上で、高精度に温調された循環水が必要となります。PCU-Rシリーズは循環水を±0.05℃の高精度で制御するとともに、多段式渦巻きポンプによる脈動レスな送水が可能な点をご評価いただき、ご採用に至りました。

商品:
チラー
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工 / その他工程
PCU

チラー

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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