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図面PDF・CADダウンロード

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ノンフロン・省エネモデル

PAU-GR300SE

PAU-GR300SE

PAU-GR800SE

PAU-GR800SE

PAU-GR1800SE

PAU-GR1800SE

PAU-GR3000SE

PAU-GR3000SE

PAU-GR8000SE

PAU-GR8000SE

PAU-GR800SE-HC

PAU-GR800SE-HC

PAU-GR1800SE-HC

PAU-GR1800SE-HC

PAU-GR3000SE-HC

PAU-GR3000SE-HC

PAU-GR8000SE-HC

PAU-GR8000SE-HC

PAU-GRW9000SE-HC

PAU-GRW9000SE-HC

省エネ・高精度モデル/標準モデル

PAU-AZ1800SE

PAU-AZ1800SE

PAU-AZ3000SE

PAU-AZ3000SE

PAU-AZ7000SE

PAU-AZ7000SE

PAU-AZW8000SE

PAU-AZW8000SE

PAU-AZW8000SE-HC

PAU-AZW8000SE-HC

PAU-AZ2000SE-DR

PAU-AZ2000SE-DR

PAU-300S

PAU-300S

PAU-AR800S

PAU-AR800S

PAU-A920S-HC

PAU-A920S-HC

PAU-A1400S-HC

PAU-A1400S-HC

クリーン・ファンフィルタユニット

PAU-01FFU

PAU-01FFU

PAU-03FFU

PAU-03FFU

PAU-05FFU

PAU-05FFU

PAU-05FFU-DM

PAU-05FFU-DM

PAU-A11FFU

PAU-A11FFU

PAU-A14FFU

PAU-A14FFU

PAU-A17FFU

PAU-A17FFU

PAU-A11FFU-ULPA

PAU-A11FFU-ULPA

PAU-A14FFU-ULPA

PAU-A14FFU-ULPA

PAU-A17FFU-ULPA

PAU-A17FFU-ULPA

HEPAユニット

OP-PAUGR-OTR001

OP-PAUGR-OTR001

対応型式:

PAU-GR3000SE

OP-PAUGR-OTR002

OP-PAUGR-OTR002

対応型式:

PAU-GR8000SE

OP-PAUGR-OTR003

OP-PAUGR-OTR003

対応型式:

PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-OTR004

OP-PAUGR-OTR004

対応型式:

PAU-GR8000SE-HC

OP-PAUGR-OTR005

OP-PAUGR-OTR005

対応型式:

PAU-GRW9000SE-HC

接続ボックス/接続フランジ

PAU接続ボックス(φ75)

PAU接続ボックス(φ75)

PAU接続ボックス(φ100)

PAU接続ボックス(φ100)

PAU接続ボックス(φ150)

PAU接続ボックス(φ150)

PAU接続フランジA150(φ150)

PAU接続フランジA150(φ150)

PAU接続フランジA200(φ200)

PAU接続フランジA200(φ200)

内部循環フランジ

OP-PAUGR-MEC001

OP-PAUGR-MEC001

対応型式:

PAU-GR300SE

OP-PAUGR-MEC002

OP-PAUGR-MEC002

対応型式:

PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC

OP-PAUGR-MEC003

OP-PAUGR-MEC003

対応型式:

PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC

OP-PAUGR-MEC011

OP-PAUGR-MEC011

対応型式:

PAU-GR3000SE/PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-MEC021

OP-PAUGR-MEC021

対応型式:

PAU-GR8000SE/PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC

PAU内部循環フランジ②

PAU内部循環フランジ②

対応型式:

PAU-A1400S-HC

PAU内部循環フランジ⑪

PAU内部循環フランジ⑪

対応型式:

PAU-AR800S

PAU内部循環フランジ⑫

PAU内部循環フランジ⑫

対応型式:

PAU-A920S-HC

PAU内部循環フランジ㉑

PAU内部循環フランジ㉑

対応型式:

PAU-AZW8000SE-HC/PAU-AZW8000SE/PAU-AZ2000SE-DR/PAU-AZ7000SE

PAU内部循環フランジ㉒

PAU内部循環フランジ㉒

対応型式:

PAU-AZ1800SE

PAU内部循環フランジ㉓

PAU内部循環フランジ㉓

対応型式:

PAU-AZ3000SE

PAU内部循環フランジ㉔

PAU内部循環フランジ㉔

対応型式:

PAU-300S

アイフランジ

PAU盤用アイフランジ(φ75)

PAU盤用アイフランジ(φ75)

PAU盤用アイフランジ(φ100)

PAU盤用アイフランジ(φ100)

PAU盤用アイフランジ(φ150)

PAU盤用アイフランジ(φ150)

PAU盤用アイフランジ(φ200)

PAU盤用アイフランジ(φ200)

PAU盤用アイフランジ(φ250)

PAU盤用アイフランジ(φ250)

排気チャンバ

OP-PAUGR-MEC004

OP-PAUGR-MEC004

対応型式:

PAU-GR300SE

OP-PAUGR-MEC005

OP-PAUGR-MEC005

対応型式:

PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC

OP-PAUGR-MEC006

OP-PAUGR-MEC006

対応型式:

PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC

OP-PAUGR-MEC012

OP-PAUGR-MEC012

対応型式:

PAU-GR3000SE

OP-PAUGR-MEC022

OP-PAUGR-MEC022

対応型式:

PAU-GR8000SE

OP-PAUGR-MEC013

OP-PAUGR-MEC013

対応型式:

PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-MEC023

OP-PAUGR-MEC023

対応型式:

PAU-GR8000SE-HC

PAU排気チャンバ①

PAU排気チャンバ①

対応型式:

PAU-A1400S-HC/PAU-AR800S/PAU-A920S-HC/PAU-AZ1800SE

PAU排気チャンバ⑤

PAU排気チャンバ⑤

対応型式:

PAU-300S

PAU排気チャンバ⑭

PAU排気チャンバ⑭

対応型式:

PAU-AZ7000SE/PAU-AZ2000SE-DR

PAU排気チャンバ⑮

PAU排気チャンバ⑮

対応型式:

PAU-AZ3000SE

転倒防止金具

OP-PAUGR-MEC014

OP-PAUGR-MEC014

対応型式:

PAU-GR800SE/PAU-GR1800SE/PAU-GR3000SE/PAU-GR8000SE/
PAU-GR800SE-HC/PAU-GR1800SE-HC/PAU-GR3000SE-HC/
PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC

販売終了商品

PAU-AR1400S

PAU-AR1400S

PAU-AR2600S

PAU-AR2600S

PAU-A5000S

PAU-A5000S

PAU-AN1700SE

PAU-AN1700SE

PAU-AN2800SE

PAU-AN2800SE

PAU-300S-HC

PAU-300S-HC

PAU-A2600S-HC

PAU-A2600S-HC

PAU-A3500S-HC

PAU-A3500S-HC

PAU-WA3430-1

PAU-WA3430-1

PAU-WA6860-2

PAU-WA6860-2

PAU-ARW20000SE

PAU-ARW20000SE

PAU-WA3430-1HC

PAU-WA3430-1HC

PAU-ANW12000S-HC

PAU-ANW12000S-HC

PAU-1300S-DR

PAU-1300S-DR

PAU-W2600S-DR

PAU-W2600S-DR

PAU-W2600HEF

PAU-W2600HEF

PAU-W5200HEF

PAU-W5200HEF

PAU-H3200-6KHC

PAU-H3200-6KHC

PAU-800RW

PAU-800RW

PAU-SU2900L

PAU-SU2900L

PAU-820S-CU

PAU-820S-CU

PAU-1300S-CU

PAU-1300S-CU

PAU-A820S-CE

PAU-A820S-CE

PAU-1300S-CE

PAU-1300S-CE

PAU-AR2623S-CE

PAU-AR2623S-CE

PAU-WA6860-2HC

PAU-WA6860-2HC

PAU-800S

PAU-800S