制御盤用クーラー・精密空調・チラー等熱対策機器、サーモグラフィの設計・製造・販売
■エッチング装置・スパッタリング装置などのワークの温調
各種装置のプレートなどの温度を精密にコントロールできます。
精度が要求される各種製造装置のワーク温度を一定にするためには、循環水の温調レベルを上げる必要があります。安定性と精度を実現する精密チラーユニットでコントロールします。
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