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電機・電子

FPD

1.印刷機・ステッパ装置等の温湿度管理
印刷機・ステッパ装置等の温湿度管理

装置内の温度は、精緻な温湿度制御が必要です。精密空調機により、年間を通じて高精度の温湿度管理が可能となります。

精密空調・局所空調

装置内の温湿度を精密にコントロールします。

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2.検査装置等のワーク温調
検査装置等のワーク温調

検査装置等のワーク温度をチラーユニットで温調します。
検査環境を常に一定保てます。

チラー

循環水の温度を-10℃~80℃というワイドレンジで、一定にすることが可能です

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