水冷チラー

水冷チラー・PCUシリーズはさまざまな製造工程でご使用いただけます。エッチング装置、スパッタリング装置、洗浄機、露光機、コーター、テスターなどさまざまな用途における循環水の冷却で実力を発揮します。温度制御領域は-10℃～81℃のワイドレンジ。空冷チラーは全ての温度領域で、コンプレッサを停止させることなく連続運転が可能なため、常に高安定性、高精度を実現します。